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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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最爱喝牛奶

金虫 (小有名气)

[求助] 氧化物薄膜沿厚度中间的位置开裂的原因

磁控溅射生长氧化物薄膜,无论厚度多少,都会从薄膜厚度中部开裂,原因是什么呢?比如厚度500nm,就会从厚度约250nm处裂开分成上下两层。肉眼看不出,但是SEM截面下就很清楚。有遇到类似情况的朋友吗?
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坚持梦想!
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598878157

版主 (文学泰斗)

rky

太厚了,有应力

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» 本帖已获得的红花(最新10朵)

2楼2023-02-01 10:35:05
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liyanguo2000

至尊木虫 (知名作家)

3楼2023-02-01 11:22:18
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最爱喝牛奶

金虫 (小有名气)

送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by 598878157 at 2023-02-01 10:35:05
太厚了,有应力

有没有相关的论文或者资料?因为我们发现长200nm的时候也会从100nm处裂开,想知道为什么恰好是中间断开呢 有没有解决的办法?
坚持梦想!
4楼2023-02-01 14:45:45
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树正群海

铁虫 (小有名气)

试试提高沉积温度,降低内应力

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5楼2023-02-04 20:07:46
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板儿砖Brick

新虫 (著名写手)

不会设定是分步成膜了吧

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6楼2024-08-21 16:36:51
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买酒白云边

金虫 (知名作家)

真空度提高一个数量级试试

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人造金刚石及其制品And周边设备
7楼2024-08-30 22:47:00
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