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最爱喝牛奶金虫 (小有名气)
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氧化物薄膜沿厚度中间的位置开裂的原因
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磁控溅射生长氧化物薄膜,无论厚度多少,都会从薄膜厚度中部开裂,原因是什么呢?比如厚度500nm,就会从厚度约250nm处裂开分成上下两层。肉眼看不出,但是SEM截面下就很清楚。有遇到类似情况的朋友吗? |
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liyanguo2000
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