24小时热门版块排行榜    

查看: 1071  |  回复: 2
【悬赏金币】回答本帖问题,作者Mirectol将赠送您 5 个金币
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

Mirectol

新虫 (初入文坛)

[求助] 求解磁控溅射的ITO方阻特别大的原因 已有2人参与

我们是做薄膜电池的,用ITO作为窗口层收集载流子。前段时间方阻已经到达了75欧姆而透过率在400纳米波长降到了60%。如今再做霍尔方阻都上万了而透过率却勉强75%。。目前研二遇到这问题很头疼有没有遇到类似的大佬讲解下,磁控启辉的颜色是粉色(N5氩气,条件是0.15pa,130w半小时溅射约180nm厚)

求解磁控溅射的ITO方阻特别大的原因


发自小木虫Android客户端
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jintianly

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

180nm的ITO,不加热镀的话应该可以做到35Ω以下,加热(基底实际温度>185℃)的话,应该可以做到15Ω以下。重新调节下氧含量、溅射气压、电压啥的吧。
镀膜的物理生
3楼2023-06-29 15:26:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 3 个回答

hong880214

新虫 (著名写手)


【答案】应助回帖

氧含量 没有调节好
2楼2023-01-03 19:53:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
不应助 确定回帖应助 (注意:应助才可能被奖励,但不允许灌水,必须填写15个字符以上)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 085600 材料与化工 298 +7 小西笑嘻嘻 2026-03-03 7/350 2026-03-03 18:59 by lature00
[考研] 0856材料工程,初试313调剂 +6 卖个关子吧 2026-03-03 6/300 2026-03-03 18:15 by oriG1n
[硕博家园] 2025届双非化工硕士毕业,申博 +4 更多的是 2026-02-27 5/250 2026-03-03 17:44 by wenium
[考研] 289求调剂 +7 BrightLL 2026-03-02 9/450 2026-03-03 16:02 by tgxtgxtgx9
[考研] 一志愿东北大学化学314分求调剂 +5 lr1212.. 2026-03-02 5/250 2026-03-03 15:26 by xingtian2025
[考研] 一志愿天津大学085600 319分 材料与化工 金属方向 求调剂 +4 青科11 2026-03-02 4/200 2026-03-03 14:43 by xiaomc_gzh
[考研] 284求调剂 +6 天下熯 2026-03-02 6/300 2026-03-03 13:46 by Iveryant
[考研] 调剂 +5 13853210211 2026-03-02 7/350 2026-03-03 11:42 by 13853210211
[考研] 324求调剂 +4 wxz2 2026-03-03 5/250 2026-03-03 09:25 by 杨杨杨紫
[考研] 271求调剂 +4 Ricardo1113 2026-03-02 4/200 2026-03-03 08:00 by 无际的草原
[考研] 0854复试调剂 276 +5 wmm9 2026-03-01 7/350 2026-03-03 02:49 by xiadaiyang
[考研] 求调剂 +11 yunziaaaaa 2026-03-01 13/650 2026-03-02 21:59 by sunny81
[考研] 0856材料调剂 +5 沿岸有贝壳OUC 2026-03-02 5/250 2026-03-02 20:31 by hypershenger
[考研] 化学,材料,环境类求调剂 +7 考研版棒棒 2026-03-02 7/350 2026-03-02 19:56 by hypershenger
[考研] 302材料工程求调剂 +5 Doleres 2026-03-01 6/300 2026-03-02 19:53 by 张晓芳0105
[考研] 0854总分272 +3 打小就是老实人 2026-03-02 4/200 2026-03-02 19:49 by 求调剂zz
[基金申请] 本子写完了,给DS兄弟看了,得了92分 +3 Doma 2026-03-01 7/350 2026-03-02 00:00 by jnzsy
[考研] 290求调剂 +9 材料专硕调剂; 2026-02-28 11/550 2026-03-01 17:21 by sunny81
[考研] 317一志愿华南理工电气工程求调剂 +6 Soliloquy_Q 2026-02-28 11/550 2026-03-01 11:14 by 歌liekkas
[硕博家园] 【博士招生】太原理工大学2026化工博士 +4 N1ce_try 2026-02-24 8/400 2026-02-26 08:40 by N1ce_try
信息提示
请填处理意见