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求解磁控溅射的ITO方阻特别大的原因 已有2人参与
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我们是做薄膜电池的，用ITO作为窗口层收集载流子。前段时间方阻已经到达了75欧姆而透过率在400纳米波长降到了60%。如今再做霍尔方阻都上万了而透过率却勉强75%。。目前研二遇到这问题很头疼有没有遇到类似的大佬讲解下，磁控启辉的颜色是粉色（N5氩气，条件是0.15pa,130w半小时溅射约180nm厚） 发自小木虫Android客户端 |
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