| 查看: 1094 | 回复: 3 | ||
luanzx6588木虫 (正式写手)
|
[求助]
MOCVD生长氧化镓，为啥一般用Ar做载气，而N2用的很少？ 已有1人参与
|
|
求助， MOCVD生长氧化镓，为啥一般用Ar做载气，而N2用的很少？ 生长条件一般40mbar，800℃，富氧气氛。 是N2分解，还是N2少量与O2反应，或其他？ |
回复此楼» 猜你喜欢
中南大学易小艺课题组诚招2026申请-考核制博士生
已经有0人回复
-
海南师范大学招收化学博士（光电功能材料课题组招收博士研究生）
已经有10人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有160人回复
-
求助几个团簇的cif
已经有0人回复
-
急求该反应的详细机理
已经有5人回复
-
【Ei | Scopus 双检索】2026年智能交通与未来出行国际会议（CSTFM 2026）
已经有0人回复
-
【EI|Scopus 双检索】2026年第六届机器人与人工智能国际会议（JCRAI 2026）
已经有0人回复
2楼2023-08-21 17:32:49
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ...
luanzx6588: 金币+200, ★★★★★最佳答案 2023-08-22 10:26:22
luanzx6588: 金币+200, ★★★★★最佳答案 2023-08-22 10:26:22
| 在氧化镓中，HVPE用的是N2作为载气，反应温度在1200摄氏度，用的Ga源是GaCl or GaCl3，O源为氧气，所以不存在N2分解也不存在与O2反应，N2的分解温度和反应温度远远高于800摄氏度。主要原因在于N2作为载气极大降低氧化镓的沉积速率，MO生长氧化镓的Ga源为三甲基镓，N2作为载气，Ga源的扩散系数低，再加上MO本身的沉积速率，所以不适合采用N2作为载气。 |
3楼2023-08-21 17:33:56
luanzx6588
木虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 2646.3
- 散金: 94
- 红花: 2
- 沙发: 1
- 帖子: 383
- 在线: 246.3小时
- 虫号: 732867
- 注册: 2009-03-27
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
4楼2023-08-22 10:26:56