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ws4231153新虫 (小有名气)
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为什么PECVD氮化硅薄膜在Au、Cu衬底上长不起来 已有1人参与
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请教PECVD氮化硅薄膜在Au、Cu扩散性强的金属衬底为什么生长不起来，而同样的工艺在Pt、W衬底上就可以生长。我判断生长成功的依据是用万用表测薄膜的导电性，结果发现在Au、Cu两种衬底上都是导电的，说明氮化硅薄膜没有起到绝缘的作用或者根本没有生长成功。但是在W、Pt衬底上生长的氮化硅薄膜就能起到绝缘的作用，并且使得整体薄膜的颜色发生改变。 期间我试过调整功率，加长沉积时间，都没有成功？我的沉积气体是SiH4+N2,之前也有用过SiH4+NH3在Au、Cu衬底上沉积氮化硅薄膜，都没有成功，请问这是为什么呢？有没有做这方向的大神指导一下，这个问题困扰了我很久，或者是我需要改变一下沉积条件吗？ |
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