| 查看: 814 | 回复: 3 | |||
| 【悬赏金币】回答本帖问题，作者ws4231153将赠送您 5 个金币 | |||
ws4231153新虫 (小有名气)
|
[求助]
为什么PECVD氮化硅薄膜在Au、Cu衬底上长不起来 已有1人参与
|
||
|
请教PECVD氮化硅薄膜在Au、Cu扩散性强的金属衬底为什么生长不起来，而同样的工艺在Pt、W衬底上就可以生长。我判断生长成功的依据是用万用表测薄膜的导电性，结果发现在Au、Cu两种衬底上都是导电的，说明氮化硅薄膜没有起到绝缘的作用或者根本没有生长成功。但是在W、Pt衬底上生长的氮化硅薄膜就能起到绝缘的作用，并且使得整体薄膜的颜色发生改变。 期间我试过调整功率，加长沉积时间，都没有成功？我的沉积气体是SiH4+N2,之前也有用过SiH4+NH3在Au、Cu衬底上沉积氮化硅薄膜，都没有成功，请问这是为什么呢？有没有做这方向的大神指导一下，这个问题困扰了我很久，或者是我需要改变一下沉积条件吗？ |
回复此楼» 猜你喜欢
（081700）化学工程与技术-298分求调剂
已经有21人回复
-
315求调剂
已经有8人回复
-
293求调剂
已经有3人回复
-
求b区学校调剂
已经有3人回复
-
310求调剂
已经有3人回复
-
302求调剂
已经有6人回复
-
求调剂
已经有7人回复
-
0856材料与化工301求调剂
已经有4人回复
-
【0856】化学工程（085602）313 分，本科学科评估A类院校化学工程与工艺，诚求调剂
已经有7人回复
-
328求调剂
已经有5人回复
2楼2022-09-25 10:34:37
ws4231153
新虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 99
- 散金: 35
- 帖子: 148
- 在线: 41.9小时
- 虫号: 6663019
- 注册: 2017-06-01
- 专业: 力学中的基本问题和方法
3楼2022-09-27 09:54:40
Jason
木虫 (著名写手)
- 应助: 123 (高中生)
- 金币: 4536.3
- 散金: 2503
- 红花: 26
- 帖子: 1977
- 在线: 764.7小时
- 虫号: 1196746
- 注册: 2011-01-27
- 性别: GG
- 专业: 结构陶瓷
4楼2022-09-28 15:08:31
10