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ws4231153

新虫 (小有名气)

[求助] 为什么PECVD氮化硅薄膜在Au、Cu衬底上长不起来 已有1人参与

请教PECVD氮化硅薄膜在Au、Cu扩散性强的金属衬底为什么生长不起来,而同样的工艺在Pt、W衬底上就可以生长。我判断生长成功的依据是用万用表测薄膜的导电性,结果发现在Au、Cu两种衬底上都是导电的,说明氮化硅薄膜没有起到绝缘的作用或者根本没有生长成功。但是在W、Pt衬底上生长的氮化硅薄膜就能起到绝缘的作用,并且使得整体薄膜的颜色发生改变。
期间我试过调整功率,加长沉积时间,都没有成功?我的沉积气体是SiH4+N2,之前也有用过SiH4+NH3在Au、Cu衬底上沉积氮化硅薄膜,都没有成功,请问这是为什么呢?有没有做这方向的大神指导一下,这个问题困扰了我很久,或者是我需要改变一下沉积条件吗?
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ws4231153

新虫 (小有名气)

3楼2022-09-27 09:54:40
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