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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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彼岸OvO

新虫 (初入文坛)

[求助] 原子层孔内沉积薄膜 已有1人参与

虫友们,用原子层沉积在纳米孔内沉积薄膜的时候,发现前驱体并没有进入到通孔内部,无法在孔内沉积 ,一直沉积在表面,是什么原因呢
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彼岸OvO

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by su183 at 2022-08-18 17:40:20
清扫的应该没有吧,您是采用那台设备做的实验

我采用的是自己搭建的设备

发自小木虫Android客户端
5楼2022-08-18 20:26:42
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su183

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

纳米孔难度大一些,建议增大没cycle时间
2楼2022-08-15 14:03:58
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彼岸OvO

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by su183 at 2022-08-15 14:03:58
纳米孔难度大一些,建议增大没cycle时间

你好,是增大每循环的前驱体脉冲时间吗?清扫时间的长短有没有影响?

发自小木虫Android客户端
3楼2022-08-17 16:14:19
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su183

新虫 (小有名气)

清扫的应该没有吧,您是采用那台设备做的实验

发自小木虫Android客户端
4楼2022-08-18 17:40:20
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