应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 原子层孔内沉积薄膜
91/1返回列表
查看: 751  |  回复: 8
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
【悬赏金币】回答本帖问题，作者彼岸OvO将赠送您 5 个金币

彼岸OvO

新虫 (初入文坛)

[求助] 原子层孔内沉积薄膜 已有1人参与

虫友们，用原子层沉积在纳米孔内沉积薄膜的时候，发现前驱体并没有进入到通孔内部，无法在孔内沉积 ，一直沉积在表面，是什么原因呢
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
1楼 2022-07-15 12:09:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

su183

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

纳米孔难度大一些，建议增大没cycle时间
赞一下(1人) 回复此楼
2楼2022-08-15 14:03:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

彼岸OvO

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by su183 at 2022-08-15 14:03:58
纳米孔难度大一些，建议增大没cycle时间

你好，是增大每循环的前驱体脉冲时间吗？清扫时间的长短有没有影响？

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
3楼2022-08-17 16:14:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

su183

新虫 (小有名气)
清扫的应该没有吧，您是采用那台设备做的实验

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
4楼2022-08-18 17:40:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

彼岸OvO

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by su183 at 2022-08-18 17:40:20
清扫的应该没有吧，您是采用那台设备做的实验

我采用的是自己搭建的设备

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
5楼2022-08-18 20:26:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

彼岸OvO

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by su183 at 2022-08-18 17:40:20
清扫的应该没有吧，您是采用那台设备做的实验

所以主要是增加设备的一个前驱体源脉冲时间吗？

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
6楼2022-08-18 20:27:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

su183

新虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 彼岸OvO at 2022-08-18 20:27:27
所以主要是增加设备的一个前驱体源脉冲时间吗？
...

自己搭建的做氧化物应该还可以，做氮化物估计有点费力，最低都得配一个手套箱

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
7楼2022-08-22 16:04:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

su183

新虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 彼岸OvO at 2022-08-18 20:27:27
所以主要是增加设备的一个前驱体源脉冲时间吗？
...

可以试试

发自小木虫Android客户端
回复此楼
8楼2022-08-22 16:06:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

彼岸OvO

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
8楼: Originally posted by su183 at 2022-08-22 16:06:48
可以试试
...

好的，谢谢

发自小木虫Android客户端
回复此楼
9楼2022-08-23 09:44:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 彼岸OvO 的主题更新
91/1返回列表
不应助 确定回帖应助 (注意：应助才可能被奖励，但不允许灌水，必须填写15个字符以上)
普通表情 龙 兔 虎 猫
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭