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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 原子层孔内沉积薄膜
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彼岸OvO

新虫 (初入文坛)

[求助] 原子层孔内沉积薄膜 已有1人参与

虫友们，用原子层沉积在纳米孔内沉积薄膜的时候，发现前驱体并没有进入到通孔内部，无法在孔内沉积 ，一直沉积在表面，是什么原因呢
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1楼 2022-07-15 12:09:03
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su183

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

纳米孔难度大一些，建议增大没cycle时间
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2楼2022-08-15 14:03:58
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彼岸OvO

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by su183 at 2022-08-15 14:03:58
纳米孔难度大一些，建议增大没cycle时间

你好，是增大每循环的前驱体脉冲时间吗？清扫时间的长短有没有影响？

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3楼2022-08-17 16:14:19
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su183

新虫 (小有名气)
清扫的应该没有吧，您是采用那台设备做的实验

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4楼2022-08-18 17:40:20
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彼岸OvO

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by su183 at 2022-08-18 17:40:20
清扫的应该没有吧，您是采用那台设备做的实验

我采用的是自己搭建的设备

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5楼2022-08-18 20:26:42
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彼岸OvO

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by su183 at 2022-08-18 17:40:20
清扫的应该没有吧，您是采用那台设备做的实验

所以主要是增加设备的一个前驱体源脉冲时间吗？

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6楼2022-08-18 20:27:27
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su183

新虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 彼岸OvO at 2022-08-18 20:27:27
所以主要是增加设备的一个前驱体源脉冲时间吗？
...

自己搭建的做氧化物应该还可以，做氮化物估计有点费力，最低都得配一个手套箱

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7楼2022-08-22 16:04:17
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su183

新虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 彼岸OvO at 2022-08-18 20:27:27
所以主要是增加设备的一个前驱体源脉冲时间吗？
...

可以试试

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8楼2022-08-22 16:06:48
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彼岸OvO

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
8楼: Originally posted by su183 at 2022-08-22 16:06:48
可以试试
...

好的，谢谢

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9楼2022-08-23 09:44:55
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