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Calvin.金虫 (小有名气)
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[求助]
光刻胶前烘不均匀的问题 已有2人参与
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用某光刻胶进行匀胶后，肉眼可见，基本已匀胶均匀，整块硅片上均涂布了光刻胶。然而在前烘的过程中，将硅片放上烘胶的热板上，霎时便出现了类似光刻胶被部分蒸干的现象，硅片上很多位置裸露出硅片。 请问这是什么原因，应该如何解决呢？是匀胶转速的问题，还是烘胶温度的问题，或者说是胶本身性质的原因，应该如何对症处理？ 清大神们帮忙，谢谢。 |
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