| 查看: 2240 | 回复: 5 | ||
| 【悬赏金币】回答本帖问题,作者Calvin.将赠送您 20 个金币 | ||
Calvin.金虫 (小有名气)
|
[求助]
光刻胶前烘不均匀的问题 已有2人参与
|
|
|
用某光刻胶进行匀胶后,肉眼可见,基本已匀胶均匀,整块硅片上均涂布了光刻胶。然而在前烘的过程中,将硅片放上烘胶的热板上,霎时便出现了类似光刻胶被部分蒸干的现象,硅片上很多位置裸露出硅片。 请问这是什么原因,应该如何解决呢?是匀胶转速的问题,还是烘胶温度的问题,或者说是胶本身性质的原因,应该如何对症处理? 清大神们帮忙,谢谢。 |
» 猜你喜欢
湖南大学张世国团队招26年第二批博士—离子液体、高分子与凝胶材料
已经有0人回复
湖南农业大学能源材料创新团队招收2025化学专业研究生(学硕)调剂
已经有0人回复
物理化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有137人回复
2026年西华大学材料学院-材料近净成形与表面技术研究团队-招收调剂研究生
已经有9人回复
调剂信息
已经有0人回复
河北农大生物与医药专业招收调剂,名额充足
已经有0人回复
材料与化工专硕(材料工程)有调剂名额
已经有1人回复
齐鲁工业大学 国家重点实验室-新能源、锂离子电池、材料、化学方向
已经有0人回复
杰青/长江团队招收调剂
已经有0人回复
中南林业科技大学罗勇锋教授团队2026年招收材料类调剂研究生
已经有0人回复
2026广东医科大学生物医学工程学硕接收调剂!
已经有21人回复
2楼2022-06-28 16:54:57
3楼2022-07-16 10:01:09
4楼2023-12-05 11:59:15
Nihilismr
铁虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 192.4
- 散金: 28
- 帖子: 128
- 在线: 16.1小时
- 虫号: 15132063
- 注册: 2019-05-19
- 专业: 粒子物理学和场论
5楼2023-12-27 11:02:54
6楼2024-01-12 08:43:54














回复此楼