| 查看: 2335 | 回复: 5 | ||
| 【悬赏金币】回答本帖问题，作者Calvin.将赠送您 20 个金币 | ||
Calvin.金虫 (小有名气)
|
[求助]
光刻胶前烘不均匀的问题 已有2人参与
|
|
|
用某光刻胶进行匀胶后，肉眼可见，基本已匀胶均匀，整块硅片上均涂布了光刻胶。然而在前烘的过程中，将硅片放上烘胶的热板上，霎时便出现了类似光刻胶被部分蒸干的现象，硅片上很多位置裸露出硅片。 请问这是什么原因，应该如何解决呢？是匀胶转速的问题，还是烘胶温度的问题，或者说是胶本身性质的原因，应该如何对症处理？ 清大神们帮忙，谢谢。 |
回复此楼» 猜你喜欢
2026年博士研究生招生补录
已经有1人回复
-
交流｜5% SP/NMP 导电浆料预分散经验（钠电 / 锂电用）
已经有1人回复
-
高分子科学论文润色/翻译怎么收费?
已经有139人回复
-
哈尔滨工业大学（深圳）——急招能动/材料/机械——26年9月份博士
已经有16人回复
-
2026储能方向博士
已经有3人回复
-
科研工作者面临的几个矛盾，你会怎么选
已经有2人回复
-
阴离子交换膜电解槽电压衰减原因
已经有0人回复
-
铜的植物缓蚀剂研究
已经有0人回复
-
26年电池方向博士申请
已经有2人回复
-
211高校 2027年 硕士研究生招生启示
已经有1人回复
-
南方医科大学基础医学院樊俊兵教授课题组招收申请-考核制学博1名
已经有0人回复
2楼2022-06-28 16:54:57
3楼2022-07-16 10:01:09
4楼2023-12-05 11:59:15
Nihilismr
铁虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 192.4
- 散金: 28
- 帖子: 128
- 在线: 16.1小时
- 虫号: 15132063
- 注册: 2019-05-19
- 专业: 粒子物理学和场论
5楼2023-12-27 11:02:54
6楼2024-01-12 08:43:54
10