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磁控溅射设备中，样平台上出现些许辉光如何解决？ 已有1人参与
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不加偏压情况下，导电胶+绑丝固定样品，加热两百度，样平台上时常出现辉光是什么原因？在同一条件下时，样平台上辉光有时出现出现，有时消失，这个要怎么解决？是因为尖端放电，还是狭缝还是导电胶所致？ 发自小木虫Android客户端 |
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bhgolden 
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- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
2楼2022-06-16 10:46:29
