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新虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射设备中，样平台上出现些许辉光如何解决？已有1人参与

不加偏压情况下，导电胶+绑丝固定样品，加热两百度，样平台上时常出现辉光是什么原因？在同一条件下时，样平台上辉光有时出现出现，有时消失，这个要怎么解决？是因为尖端放电，还是狭缝还是导电胶所致？

1楼 2022-06-14 23:17:07

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导电胶一般不会出现问题吧。绑丝的材质是什么？是不是加了电流了？也有可能是夹具有狭缝或孔之类的造成的空心阴极效应。——进口磁控溅射13161519588

2楼2022-06-16 10:46:29

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