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半寸日光

新虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射设备中,样平台上出现些许辉光如何解决? 已有1人参与

不加偏压情况下,导电胶+绑丝固定样品,加热两百度,样平台上时常出现辉光是什么原因?在同一条件下时,样平台上辉光有时出现出现,有时消失,这个要怎么解决?是因为尖端放电,还是狭缝还是导电胶所致?

磁控溅射设备中,样平台上出现些许辉光如何解决?


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bhgolden

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【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
导电胶一般不会出现问题吧。绑丝的材质是什么?是不是加了电流了?也有可能是夹具有狭缝或孔之类的造成的空心阴极效应。——进口磁控溅射13161519588
2楼2022-06-16 10:46:29
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