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作者
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物理
磁控溅射设备中，样平台上出现些许辉光如何解决？
不加偏压情况下，导电胶+绑丝固定样品，加热两百度，
样平台上
时常
出现
...在同一条件下时，
样平台上辉光
有时
出现出现
，有时消失，这个要怎么
解决？
是因为尖端放电，还是狭缝还是导电胶所致？
半寸日光
2022-06-14 03:07
