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磁控溅射装备中,样品台时常出现辉光如何解决?
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不加偏压情况下,导电胶+绑丝固定样品,加热两百度,样平台上时常出现辉光是什么原因?在同一条件下时,样平台上辉光有时出现出现,有时消失,这个要怎么解决?是因为尖端放电,还是狭缝还是导电胶所致? @fzm1108 @小_包子 @xiaofan700 @caominone @TXJ2013 发自小木虫Android客户端 |
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bobo201266
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5楼2022-06-21 08:28:15
liuyunliusu1
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2楼2022-06-15 12:53:43
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