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磁控溅射装备中，样品台时常出现辉光如何解决？
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不加偏压情况下，导电胶+绑丝固定样品，加热两百度，样平台上时常出现辉光是什么原因？在同一条件下时，样平台上辉光有时出现出现，有时消失，这个要怎么解决？是因为尖端放电，还是狭缝还是导电胶所致？ @fzm1108 @小_包子 @xiaofan700 @caominone @TXJ2013 发自小木虫Android客户端 |
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