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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 膜技术 » 磁控溅射装备中，样品台时常出现辉光如何解决？
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半寸日光

新虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射装备中，样品台时常出现辉光如何解决？

不加偏压情况下，导电胶+绑丝固定样品，加热两百度，样平台上时常出现辉光是什么原因？在同一条件下时，样平台上辉光有时出现出现，有时消失，这个要怎么解决？是因为尖端放电，还是狭缝还是导电胶所致？

磁控溅射装备中，样品台时常出现辉光如何解决？


@fzm1108 @小_包子 @xiaofan700 @caominone @TXJ2013 发自小木虫Android客户端
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1楼 2022-06-14 23:14:04
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liuyunliusu1

新虫 (小有名气)
自偏压

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2楼2022-06-15 12:53:43
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半寸日光

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by liuyunliusu1 at 2022-06-15 12:53:43
自偏压

请问下，这个自偏压的话有什么在工艺参数不变的情况下比较好点解决方法吗？

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3楼2022-06-15 19:05:08
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半寸日光

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by liuyunliusu1 at 2022-06-15 12:53:43
自偏压

选用的是直流电源

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4楼2022-06-15 19:22:46
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bobo201266

金虫 (正式写手)
试试气压调低

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5楼2022-06-21 08:28:15
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