应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 膜技术 » 磁控溅射装备中，样品台时常出现辉光如何解决？
51/1返回列表
查看: 913  |  回复: 4
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
【悬赏金币】回答本帖问题，作者半寸日光将赠送您 20 个金币
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

半寸日光

新虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射装备中，样品台时常出现辉光如何解决？

不加偏压情况下，导电胶+绑丝固定样品，加热两百度，样平台上时常出现辉光是什么原因？在同一条件下时，样平台上辉光有时出现出现，有时消失，这个要怎么解决？是因为尖端放电，还是狭缝还是导电胶所致？

磁控溅射装备中，样品台时常出现辉光如何解决？


@fzm1108 @小_包子 @xiaofan700 @caominone @TXJ2013 发自小木虫Android客户端
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2022-06-14 23:14:04
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

半寸日光

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by liuyunliusu1 at 2022-06-15 12:53:43
自偏压

选用的是直流电源

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
4楼2022-06-15 19:22:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 5 个回答

liuyunliusu1

新虫 (小有名气)
自偏压

发自小木虫Android客户端
回复此楼
2楼2022-06-15 12:53:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

半寸日光

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by liuyunliusu1 at 2022-06-15 12:53:43
自偏压

请问下，这个自偏压的话有什么在工艺参数不变的情况下比较好点解决方法吗？

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
3楼2022-06-15 19:05:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

bobo201266

金虫 (正式写手)
试试气压调低

发自小木虫Android客户端
回复此楼
5楼2022-06-21 08:28:15
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 5 个回答
不应助 确定回帖应助 (注意：应助才可能被奖励，但不允许灌水，必须填写15个字符以上)
普通表情 龙 兔 虎 猫
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭