24小时热门版块排行榜    

北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
查看: 847  |  回复: 6
当前主题已经存档。

316606212

新虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】射频磁控溅射镀膜

请教各位师兄师姐,采用射频磁控溅射镀膜,靶和基片的距离在60mm以内,每次都能正常起辉光,但基片上却什么也没有。会不会是氩离子没能把靶原子打出来呢?有什么办法解决吗?
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jsszwutao

铁杆木虫 (小有名气)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
wdwsnnu(金币+1,VIP+0): 9-8 22:18
可能是打出来,但没沉积到基片上,加大一点功率试试,沉积时间也长一点
2楼2009-09-08 22:15:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

gtr2008

木虫 (正式写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
顺便检查下气体才纯度,另外不知道你们的设备是否旋转加罩,还有靶的种类都会对镀膜产生影响
3楼2009-09-09 09:07:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

316606212

新虫 (初入文坛)

我的靶材是氟化镁,溅射压强我调到0.54pa,溅射时间达50分钟。但射频电源已经用了7、8年了。匹配器显示的pf达600w,而射频功率源电压表显示1350v,电流130ma。两者乘积不到200w.不知道你说的气体纯度,是指氩气吗?
4楼2009-09-09 11:16:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

nini_chen

银虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
哪儿电源?有没有自偏压的指示?
5楼2009-09-11 12:10:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

chenjin

铁杆木虫 (著名写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
可能是没有自偏压,或者反射功率太大。老电源匹配不好
6楼2009-09-11 21:01:50
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

nini_chen

银虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
如果电源有自偏压的指示,要看自偏的大小,一般如果自偏压太小溅射效率很低,射频本来溅射速率就低,如果自偏压低了溅射速率就更低了,会出现溅射不出来的现象。
自偏压低的原因是等离子体的阻抗太小,可以检查气体是否为氩气或其他惰性气体, 此外,矫正真空计,有时候真空计显示偏低,其实气体已经很多了。
7楼2009-09-12 09:07:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 316606212 的主题更新
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 化学308分调剂 +14 你好明天你好 2026-03-30 15/750 2026-04-02 13:39 by 嘻嘻笑22
[考研] 302求调剂一志愿华中师范大学 +3 小江小江江江 2026-04-02 3/150 2026-04-02 13:20 by syh9288
[考研] 材料专业求调剂 +10 月月鸟木 2026-04-01 10/500 2026-04-02 12:57 by wxiongid
[考研] 0856初试324分求调剂 +6 想上学求调 2026-04-01 6/300 2026-04-02 11:42 by 星空星月
[考研] 324分 085600材料与化工 +20 呆鹅oor 2026-03-27 20/1000 2026-04-02 10:13 by oooqiao
[考研] 343求调剂085601 +4 要努力学习x 2026-03-29 5/250 2026-04-02 09:01 by xuhui0306
[考研] 265求调剂 +11 yelck 2026-04-01 12/600 2026-04-01 19:12 by 549790059
[考研] 294分080500材料科学与工程求调剂 +15 柳溪边 2026-03-26 16/800 2026-04-01 17:07 by 七度不信任
[考研] 086502化学工程342求调剂 +7 阿姨复古不过 2026-03-27 7/350 2026-04-01 16:14 by yanflower7133
[考研] 土木304求调剂 +5 顶级擦擦 2026-03-31 5/250 2026-04-01 08:15 by fdcxdystjk¥
[考研] 254材料与化工求调剂 +3 翰冬林楠 2026-03-30 4/200 2026-03-31 17:53 by yishunmin
[考研] 315求调剂 +6 akie... 2026-03-28 7/350 2026-03-31 16:48 by asdfzly
[考研] 289求调剂 +3 Acesczlo 2026-03-29 4/200 2026-03-31 14:48 by 热情沙漠
[考研] 081200-11408-276学硕求调剂 +4 崔wj 2026-03-31 4/200 2026-03-31 11:56 by jp9609
[考研] 085600材料与化工调剂 +16 kikiki7 2026-03-30 16/800 2026-03-31 10:03 by 氯化亚硝酰
[考研] 22408 359分调剂 +4 Qshers 2026-03-27 8/400 2026-03-31 08:53 by Qshers
[考研] 327求调剂 +5 小卡不卡. 2026-03-29 5/250 2026-03-30 19:30 by Wang200018
[考研] 085701求调剂初试286分 +5 secret0328 2026-03-28 5/250 2026-03-30 12:54 by fangnagu
[考研] 340求调剂 +6 Amber00 2026-03-26 6/300 2026-03-29 12:06 by 无际的草原
[考研] 356求调剂 +3 gysy?s?a 2026-03-28 3/150 2026-03-29 00:33 by 544594351
信息提示
请填处理意见