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【求助】射频磁控溅射镀膜
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| 请教各位师兄师姐，采用射频磁控溅射镀膜，靶和基片的距离在60mm以内，每次都能正常起辉光，但基片上却什么也没有。会不会是氩离子没能把靶原子打出来呢？有什么办法解决吗？ |
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gtr2008
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