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ALD实验过程中的问题 已有1人参与
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在进行ald的实验过程中，我们主要长金属氧化物晶体，但是发现在实验条件不变的情况下，每天前几组实验的膜厚度都较小，然后逐渐变大最后稳定. 请问，这是由于什么现象造成的呢？ 谢谢 |
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danding631
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2楼2011-03-16 10:59:00