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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 晶体 » 测试表征 » ALD实验过程中的问题
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super_zu

金虫 (正式写手)

[交流] ALD实验过程中的问题 已有1人参与

在进行ald的实验过程中，我们主要长金属氧化物晶体，但是发现在实验条件不变的情况下，每天前几组实验的膜厚度都较小，然后逐渐变大最后稳定.
请问，这是由于什么现象造成的呢？

谢谢
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1楼 2009-09-05 05:35:09
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danding631

木虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
那请问你的基底是什么呢？和基底有关的
赞一下(1人) 回复此楼
加油！！！
2楼2011-03-16 10:59:00
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