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qnxk8882

新虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 609.6
帖子: 175
在线: 1.1小时
虫号: 25139052

[交流] 离子注入、高精度晶圆减薄、化学机械抛光、超硬材料碳化硅刻蚀

离子注入
• 50-400kev注入能量
• 2,3,4,6,8 inch晶圆尺寸

高精度晶圆减薄
• ttv<1 um
• 4,6,8 inch晶圆尺寸
• 材料包括不限于：硅，钽酸锂，铌酸锂

化学机械抛光
• 表面粗糙度<0.5nm
• 4,6,8 inch晶圆尺寸
• 材料包括不限于：硅，氧化硅，钽酸锂，铌酸锂

超硬材料刻蚀
材料包括但不限于：碳化硅，钽酸锂，铌酸锂

专业！专注！:hand

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1楼 2022-02-26 22:33:28

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505768446

铜虫 (知名作家)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 3878.9
帖子: 5431
在线: 406.1小时
虫号: 23615696

想了解一下

601楼2026-08-16 23:20:35

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