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离子注入、高精度晶圆减薄、化学机械抛光、超硬材料碳化硅刻蚀
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qnxk8882
新虫
(小有名气)
应助: 0
(幼儿园)
金币: 609.6
帖子: 175
在线: 1.1小时
虫号: 25139052
[交流]
离子注入、高精度晶圆减薄、化学机械抛光、超硬材料碳化硅刻蚀
离子注入
• 50-400kev注入能量
• 2,3,4,6,8 inch晶圆尺寸
高精度晶圆减薄
• ttv<1 um
• 4,6,8 inch晶圆尺寸
• 材料包括不限于:硅,钽酸锂,铌酸锂
化学机械抛光
• 表面粗糙度<0.5nm
• 4,6,8 inch晶圆尺寸
• 材料包括不限于:硅,氧化硅,钽酸锂,铌酸锂
超硬材料刻蚀
材料包括但不限于:碳化硅,钽酸锂,铌酸锂
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1楼
2022-02-26 22:33:28
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qnxk8882
新虫
(小有名气)
应助: 0
(幼儿园)
金币: 609.6
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在线: 1.1小时
虫号: 25139052
硅薄膜,铌酸锂薄膜刻蚀代工
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5楼
2023-06-10 18:42:34
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Hewei
金虫
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10楼
2026-01-14 16:32:13
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tzynew
2楼
2022-02-26 22:37
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nono2009
3楼
2022-04-07 13:50
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studayup
4楼
2022-08-01 18:25
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hyjcs
6楼
2023-12-16 19:55
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qnxk8882(金币+1): 谢谢参与
xiaoqiuqiu20
7楼
2024-09-04 01:50
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shawxz2012
8楼
2024-09-04 07:04
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qnxk8882(金币+1): 谢谢参与
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tfang
9楼
2025-09-19 15:30
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qnxk8882(金币+1): 谢谢参与
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XG-WUST
11楼
2026-01-14 17:53
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qnxk8882(金币+1): 谢谢参与
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