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qnxk8882

新虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 609.6
帖子: 175
在线: 1.1小时
虫号: 25139052

[交流] 离子注入、高精度晶圆减薄、化学机械抛光、超硬材料碳化硅刻蚀

离子注入
• 50-400kev注入能量
• 2,3,4,6,8 inch晶圆尺寸

高精度晶圆减薄
• ttv<1 um
• 4,6,8 inch晶圆尺寸
• 材料包括不限于：硅，钽酸锂，铌酸锂

化学机械抛光
• 表面粗糙度<0.5nm
• 4,6,8 inch晶圆尺寸
• 材料包括不限于：硅，氧化硅，钽酸锂，铌酸锂

超硬材料刻蚀
材料包括但不限于：碳化硅，钽酸锂，铌酸锂

专业！专注！:hand

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1楼 2022-02-26 22:33:28

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Hewei

金虫 (知名作家)

应助: 6 (幼儿园)
金币: 9330.4
帖子: 7423
在线: 472.6小时
虫号: 125195

★
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帮顶

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10楼2026-01-14 16:32:13

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

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qnxk8882

新虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 609.6
帖子: 175
在线: 1.1小时
虫号: 25139052

硅薄膜，铌酸锂薄膜刻蚀代工

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5楼2023-06-10 18:42:34

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

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studayup4楼

2022-08-01 18:25 回复

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tfang9楼

2025-09-19 15:30 回复

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tzynew2楼

2022-02-26 22:37 回复

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shawxz20128楼

2024-09-04 07:04 回复

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XG-WUST11楼

2026-01-14 17:53 回复

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