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同一炉试验,工艺条件相同,样品到靶距离相同,铝片和硅片上的镀层厚度会不同吗? 发自小木虫Android客户端 |
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银虫 (初入文坛)
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6楼2022-01-26 09:14:19
changlingan
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chlgan
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2楼2022-01-19 10:18:10
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3楼2022-01-19 14:11:44
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4楼2022-01-19 15:10:45










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。镀膜时间、溅射气压、靶基距、环境温度等都会影响沉积厚度。差异在不在要求范围,还得看所需的膜厚精确度。