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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » PVD膜厚
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北河

银虫 (小有名气)

[求助] PVD膜厚 已有3人参与

同一炉试验，工艺条件相同，样品到靶距离相同，铝片和硅片上的镀层厚度会不同吗？

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1楼 2022-01-18 18:20:17
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changlingan

至尊木虫 (著名写手)

chlgan

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
因为铝片和硅片材质差别，个人认为镀层厚度也会有差别。
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2楼2022-01-19 10:18:10
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期待成长

捐助贵宾 (知名作家)

突破自己、用心成长

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
镀膜厚度和很多因素有关，感觉即使固定了某些条件，还是有可能会有影响造成厚度的差别
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让生活不断前进
3楼2022-01-19 14:11:44
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尼苏叶布

禁虫 (正式写手)
本帖内容被屏蔽
4楼2022-01-19 15:10:45
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liuyunliusu1

新虫 (小有名气)
这个根据工艺条件确定，温度比较高会有影响。如果温度不高影响不大，因为两个材质不一样，会导致涂层性能差异比较大。

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5楼2022-01-20 08:34:25
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ooyyqqbh

银虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

理论上讲是有不同的，毕竟沉积附着环境不一样，能量平衡状态也会有差异。但差异能有多少，还得看其他工艺条件。镀膜时间、溅射气压、靶基距、环境温度等都会影响沉积厚度。差异在不在要求范围，还得看所需的膜厚精确度。
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α
6楼2022-01-26 09:14:19
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