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同一炉试验，工艺条件相同，样品到靶距离相同，铝片和硅片上的镀层厚度会不同吗？ 发自小木虫Android客户端 |
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changlingan 
至尊木虫 (著名写手)
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2楼2022-01-19 10:18:10
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3楼2022-01-19 14:11:44
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4楼2022-01-19 15:10:45
liuyunliusu1
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5楼2022-01-20 08:34:25
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- 专业: 凝聚态物性I:结构、力学和
。镀膜时间、溅射气压、靶基距、环境温度等都会影响沉积厚度。差异在不在要求范围，还得看所需的膜厚精确度。 6楼2022-01-26 09:14:19