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wuyuy2k

木虫 (小有名气)

[交流] 【请教】如何降低靶材镀膜过程中的掉粉率?

想了解一下,掉粉率和靶材的热稳定性有关么?是不是靶材的热稳定性越好镀膜时掉粉率就越低。比如说AZO靶,能否通过掺杂一些元素来改进掉粉率,还请做过此方面工作的大大们赐教啊:)
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wuyuy2k

木虫 (小有名气)

99+做小的可能可以,但是做3寸以上的大靶就比较难控制了。。。
12楼2009-09-11 09:38:31
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙

★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
bio-polymer(金币+1,VIP+0):谢谢交流 8-26 17:43
洛阳学子(金币+1,VIP+0):多谢 9-10 17:31
我觉得主要设备的设计问题,如果靶在下,衬底在上就没有掉粉的问题了,现在的磁控溅射设备为了避免上述问题一般都这样设计。再有,如果靶中为了改善掉粉率而故意掺杂了一些元素,那薄膜中不也有杂质了?而这些杂质你想要吗?
没有困难创造困难也要上网。
2楼2009-08-26 17:11:10
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wuyuy2k

木虫 (小有名气)

恩,您说的引入杂质的问题是需要考虑,谢谢您的建议:)
3楼2009-08-27 09:44:07
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enquan123

金虫 (著名写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
能否将靶材致密化一些呢?
No matter what I do,I always forget to forget you...
4楼2009-08-27 20:05:25
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