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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 机械 » 机械制造 » 可以精确的测量化学机械抛光过程中蓝宝石的去除量的仪器
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雨中听风cw

铜虫 (小有名气)

[交流] 可以精确的测量化学机械抛光过程中蓝宝石的去除量的仪器 已有1人参与

在蓝宝石的化学机械抛光过程中，因为所需要加工的蓝宝石晶圆比较小，使用万分之一天平也测不准，请问大家一般如何测量蓝宝石材料去除率的，用什么仪器？
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1楼 2021-12-20 20:52:11
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jiuainilxy

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
2楼2022-10-06 22:22:16
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