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雨中听风cw

铜虫 (小有名气)

[交流] 可以精确的测量化学机械抛光过程中蓝宝石的去除量的仪器 已有1人参与

在蓝宝石的化学机械抛光过程中,因为所需要加工的蓝宝石晶圆比较小,使用万分之一天平也测不准,请问大家一般如何测量蓝宝石材料去除率的,用什么仪器?
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jiuainilxy

禁虫 (小有名气)

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2楼2022-10-06 22:22:16
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