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可以精确的测量化学机械抛光过程中蓝宝石的去除量的仪器 已有1人参与
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在蓝宝石的化学机械抛光过程中，因为所需要加工的蓝宝石晶圆比较小，使用万分之一天平也测不准，请问大家一般如何测量蓝宝石材料去除率的，用什么仪器？ |
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2楼2022-10-06 22:22:16