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lalahulala

木虫 (正式写手)

[交流] 【求助】一.单晶硅表面如何获得较厚的SiO2层二.关于旋转涂膜

我用浓硫酸、双氧水加热处理单晶硅片几个小时后跟原片电阻率没什么区别呀。什么方法能够得到较厚的SiO2层
另外,热氧化法我还没试,做过的xdjm指点一下,多谢了
还有就是我想在玻璃或是硅片上旋转涂膜,用溶剂将有机前躯体溶解,旋转涂膜然后再热解,得到氧化物膜,不知道用什么溶剂润湿性好,涂出来的膜均匀

[ Last edited by lalahulala on 2009-8-26 at 11:38 ]
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xyan278

金虫 (小有名气)


lalahulala(金币+1,VIP+0):多谢,不知道除了热氧化还有其他方法吗,热氧化需要的温度高而且还要通气。我用乙醇或乙二醇甲醚3000转涂膜都试过,可是前躯体热解后呈岛状,不知道什么原因 8-25 08:59
氧化的话还是找专业的实验室做热氧化,效果比较好,旋转涂膜是乙醇或乙二醇甲醚配制的溶胶都可以,转速控制在3000r/min,
在模仿中成长,在创新中成功
5楼2009-08-24 21:05:05
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落花剑雨

木虫之王 (文学泰斗)

用乙醇吧,润湿性好不错
至于涂厚些,额,转速慢点应该就可以了吧

[ Last edited by 落花剑雨 on 2009-8-24 at 20:06 ]
落日耀红光,繁花浮暗香。遥望剑舞影,细闻风雨狂。
2楼2009-08-24 20:04:45
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lalahulala

木虫 (正式写手)

乙醇,乙二醇,还有乙二醇一甲醚我都试了,前两者涂完后呈岛状,后者稍好一些,不知还有更好的没

[ Last edited by lalahulala on 2009-8-24 at 20:11 ]
3楼2009-08-24 20:09:54
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落花剑雨

木虫之王 (文学泰斗)

额,没试过其它的~~
这你得自己试验摸索。呵呵~~
落日耀红光,繁花浮暗香。遥望剑舞影,细闻风雨狂。
4楼2009-08-24 20:13:55
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