应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 综合其它 » 【求助】一.单晶硅表面如何获得较厚的SiO2层二.关于旋转涂膜
61/1返回列表
查看: 488  |  回复: 5
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前主题已经存档。
【有奖交流】积极回复本帖子，参与交流，就有机会分得作者 lalahulala 的 8 个金币

lalahulala

木虫 (正式写手)

[交流] 【求助】一.单晶硅表面如何获得较厚的SiO2层二.关于旋转涂膜

我用浓硫酸、双氧水加热处理单晶硅片几个小时后跟原片电阻率没什么区别呀。什么方法能够得到较厚的SiO2层
另外，热氧化法我还没试，做过的xdjm指点一下，多谢了
还有就是我想在玻璃或是硅片上旋转涂膜，用溶剂将有机前躯体溶解，旋转涂膜然后再热解，得到氧化物膜，不知道用什么溶剂润湿性好，涂出来的膜均匀

[ Last edited by lalahulala on 2009-8-26 at 11:38 ]
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2009-08-24 20:00:53
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

落花剑雨

木虫之王 (文学泰斗)
用乙醇吧，润湿性好不错
至于涂厚些，额，转速慢点应该就可以了吧

[ Last edited by 落花剑雨 on 2009-8-24 at 20:06 ]
赞一下 回复此楼
落日耀红光，繁花浮暗香。遥望剑舞影，细闻风雨狂。
2楼2009-08-24 20:04:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lalahulala

木虫 (正式写手)
乙醇，乙二醇，还有乙二醇一甲醚我都试了，前两者涂完后呈岛状，后者稍好一些，不知还有更好的没

[ Last edited by lalahulala on 2009-8-24 at 20:11 ]
赞一下 回复此楼
3楼2009-08-24 20:09:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

落花剑雨

木虫之王 (文学泰斗)
额，没试过其它的~~
这你得自己试验摸索。呵呵~~
赞一下 回复此楼
落日耀红光，繁花浮暗香。遥望剑舞影，细闻风雨狂。
4楼2009-08-24 20:13:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xyan278

金虫 (小有名气)
★
lalahulala(金币+1,VIP+0):多谢，不知道除了热氧化还有其他方法吗，热氧化需要的温度高而且还要通气。我用乙醇或乙二醇甲醚3000转涂膜都试过，可是前躯体热解后呈岛状，不知道什么原因 8-25 08:59
氧化的话还是找专业的实验室做热氧化，效果比较好，旋转涂膜是乙醇或乙二醇甲醚配制的溶胶都可以，转速控制在3000r/min,
赞一下(2人) 回复此楼
在模仿中成长，在创新中成功
5楼2009-08-24 21:05:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

solgeltech

银虫 (小有名气)
★
lalahulala(金币+1,VIP+0):多谢，我现在正在干氧1000度烧。我用溶剂将有机前躯体溶解得到溶液，旋转涂膜然后再热解，得到氧化物膜 8-26 16:02
在硅上制备SiO2的最好方法是热氧化：湿氧+干氧。温度在1100-1200度，时间大约3-5小时，具体时间取决于所需的厚度。
另外，你打算在Si片上涂什么膜，是用溶胶凝胶法吗？你说的最好详细一点儿，别人好给你具体的建议。
赞一下(2人) 回复此楼
镍酸镧氧化物 铁电薄膜溶液 铁酸铋 http://yuantek.admindiy.cn ｗｗｗ.ｙｕａｎｔｅｋｓｏｌｇｅｌ.ｃｏｍ
6楼2009-08-25 12:20:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 lalahulala 的主题更新
61/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[文学芳草园] 献血感触 +7 呀呀好傻 2026-05-19 13/650 2026-05-21 20:15 by 呀呀好傻
[基金申请] 面上本子正文33页，违规吗？会被低分嘛？ +14 1234567wang 2026-05-17 16/800 2026-05-21 17:58 by 脆脆的饼干
[基金申请] 国自然评分 +4 无名者登山 2026-05-20 5/250 2026-05-21 16:35 by swuq
[论文投稿] 投稿求助，期刊 +4 希冀，有书读 2026-05-20 6/300 2026-05-21 15:09 by 982564
[基金申请] 提交了我也来说说感想 +9 fummck 2026-05-20 10/500 2026-05-21 14:17 by draco1987
[基金申请] 评审有感 +15 popular289 2026-05-18 26/1300 2026-05-21 10:35 by 西葫芦炒鸡蛋
[论文投稿] Sci. Bull. 悲剧经验 +7 jyang1999 2026-05-16 8/400 2026-05-21 08:50 by 能丫
[基金申请] 河北省自然科学基金 +4 Peterchao 2026-05-18 4/200 2026-05-21 08:17 by articlefan
[论文投稿] 投MDPI的三个期刊都被桌拒 +3 木虫研究牲 2026-05-17 4/200 2026-05-21 08:02 by bobvan
[考博] 云南大学材料与能源学院解琳课题组钙钛矿博士招生 +4 光伏爱好者 2026-05-17 6/300 2026-05-21 01:37 by 17520222914
[有机交流] 反应很差，大量原料没有反应 5+3 Mr.Zot 2026-05-19 8/400 2026-05-20 22:19 by Equinoxhua
[考博] 如果工作了想读博，可以边工作边读全日制嘛？ 30+3 铁达火车 2026-05-18 5/250 2026-05-20 09:33 by tfang
[有机交流] 如何实现卤原子转化 +3 BT20230424 2026-05-15 8/400 2026-05-20 09:32 by xtlilibin
[考博] 找博士生导师 +6 小代想上岸 2026-05-15 7/350 2026-05-19 10:22 by free_fisher
[基金申请] 同样的基金本子，换个专家直接从C变A！ (金币-10) +3 国自然国社科中 2026-05-19 3/150 2026-05-19 08:50 by Equinoxhua
[考博] 2026博士还有哪些学校有名额 +7 小王求读研 2026-05-15 8/400 2026-05-19 08:27 by zhyzzh
[考博] 博士申请 +5 星…… 2026-05-18 6/300 2026-05-18 23:49 by 糊糊涂涂好
[硕博家园] 我在等一个没有答案的答案 +3 Love_MH 2026-05-17 3/150 2026-05-18 02:22 by 竹林孤影
[文学芳草园] 半夜喝咖啡 +3 myrtle 2026-05-15 5/250 2026-05-18 01:03 by 小沈2018
[考博] 光量子物理方向 博士招生 1人（2026.09） +3 sandyworld 2026-05-15 4/200 2026-05-17 14:38 by sandyworld
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭