应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 综合其它 » 【求助】一.单晶硅表面如何获得较厚的SiO2层二.关于旋转涂膜
61/1返回列表
查看: 569  |  回复: 5
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前主题已经存档。
【有奖交流】积极回复本帖子，参与交流，就有机会分得作者 lalahulala 的 8 个金币

lalahulala

木虫 (正式写手)

[交流] 【求助】一.单晶硅表面如何获得较厚的SiO2层二.关于旋转涂膜

我用浓硫酸、双氧水加热处理单晶硅片几个小时后跟原片电阻率没什么区别呀。什么方法能够得到较厚的SiO2层
另外，热氧化法我还没试，做过的xdjm指点一下，多谢了
还有就是我想在玻璃或是硅片上旋转涂膜，用溶剂将有机前躯体溶解，旋转涂膜然后再热解，得到氧化物膜，不知道用什么溶剂润湿性好，涂出来的膜均匀

[ Last edited by lalahulala on 2009-8-26 at 11:38 ]
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2009-08-24 20:00:53
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

落花剑雨

木虫之王 (文学泰斗)
用乙醇吧，润湿性好不错
至于涂厚些，额，转速慢点应该就可以了吧

[ Last edited by 落花剑雨 on 2009-8-24 at 20:06 ]
赞一下 回复此楼
落日耀红光，繁花浮暗香。遥望剑舞影，细闻风雨狂。
2楼2009-08-24 20:04:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lalahulala

木虫 (正式写手)
乙醇，乙二醇，还有乙二醇一甲醚我都试了，前两者涂完后呈岛状，后者稍好一些，不知还有更好的没

[ Last edited by lalahulala on 2009-8-24 at 20:11 ]
赞一下 回复此楼
3楼2009-08-24 20:09:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

落花剑雨

木虫之王 (文学泰斗)
额，没试过其它的~~
这你得自己试验摸索。呵呵~~
赞一下 回复此楼
落日耀红光，繁花浮暗香。遥望剑舞影，细闻风雨狂。
4楼2009-08-24 20:13:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xyan278

金虫 (小有名气)
★
lalahulala(金币+1,VIP+0):多谢，不知道除了热氧化还有其他方法吗，热氧化需要的温度高而且还要通气。我用乙醇或乙二醇甲醚3000转涂膜都试过，可是前躯体热解后呈岛状，不知道什么原因 8-25 08:59
氧化的话还是找专业的实验室做热氧化，效果比较好，旋转涂膜是乙醇或乙二醇甲醚配制的溶胶都可以，转速控制在3000r/min,
赞一下(2人) 回复此楼
在模仿中成长，在创新中成功
5楼2009-08-24 21:05:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

solgeltech

银虫 (小有名气)
★
lalahulala(金币+1,VIP+0):多谢，我现在正在干氧1000度烧。我用溶剂将有机前躯体溶解得到溶液，旋转涂膜然后再热解，得到氧化物膜 8-26 16:02
在硅上制备SiO2的最好方法是热氧化：湿氧+干氧。温度在1100-1200度，时间大约3-5小时，具体时间取决于所需的厚度。
另外，你打算在Si片上涂什么膜，是用溶胶凝胶法吗？你说的最好详细一点儿，别人好给你具体的建议。
赞一下(2人) 回复此楼
镍酸镧氧化物 铁电薄膜溶液 铁酸铋 http://yuantek.admindiy.cn ｗｗｗ.ｙｕａｎｔｅｋｓｏｌｇｅｌ.ｃｏｍ
6楼2009-08-25 12:20:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 lalahulala 的主题更新
61/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[找工作] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 EZ67DG6CvcKL 2026-08-31 3/150 2026-08-31 22:23 by o3EMxHUAQDtS
[公派出国] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3 EZ67DG6CvcKL 2026-08-31 3/150 2026-08-31 22:22 by o3EMxHUAQDtS
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +3 EZ67DG6CvcKL 2026-08-31 3/150 2026-08-31 22:14 by o3EMxHUAQDtS
[基金申请] 能否申诉？ +7 echo8914667 2026-08-30 8/400 2026-08-31 17:00 by yihongxu
[文学芳草园] 梦想 +5 myrtle 2026-08-26 5/250 2026-08-31 14:40 by hahaboy
[基金申请] 中青基了要发朋友圈吗？ +7 349506619 2026-08-28 7/350 2026-08-31 13:39 by 冼亮淀粉酶
[基金申请] 29号明天会评吗 +4 笨笨唐 2026-08-28 4/200 2026-08-31 09:30 by huixian257
[基金申请] 基金不中，共勉 +12 eulota 2026-08-26 12/600 2026-08-31 08:42 by ZJTJZ
[考博] 找导师 +6 yuanjiabao 2026-08-29 7/350 2026-08-30 14:40 by 生科新手
[基金申请] 麻烦专家们看看评委们的意见（F口面上） +6 gdd2018 2026-08-28 11/550 2026-08-30 08:58 by 超级无敌华子
[基金申请] 我就是申请一个面上项目而已，这评审意见是按照杰青的条件评的吧？ +6 gouxfjh 2026-08-28 11/550 2026-08-30 07:57 by gouxfjh
[基金申请] 国自然面上复盘~欢迎讨论 (金币+15) +15 晴天加油 2026-08-26 16/800 2026-08-29 18:28 by symmetry
[基金申请] 为什么资助数各大高校都创新高，自己申请怎么就这么难 +12 Kittylucky 2026-08-27 13/650 2026-08-29 00:04 by superceng
[基金申请] 系统查不到 +11 董八千 2026-08-26 11/550 2026-08-28 18:06 by Leogzhya
[基金申请] 怎么看青基中了没有啊 +5 叶九微 2026-08-26 5/250 2026-08-27 10:35 by l_zh2008
[基金申请] 为什么 国际(地区)合作与交流项目 没有放榜？ 10+3 majunge000 2026-08-26 11/550 2026-08-27 08:42 by 北京莱茵编辑
[基金申请] 出来了 +9 trojank 2026-08-26 9/450 2026-08-26 14:25 by 宝贝虫子
[基金申请] 国际合作可查了，中了面上 (EPI+1)(金币+50) +18 Ldrop2023 2026-08-26 18/900 2026-08-26 11:15 by cmrandy
[基金申请] 今天务委会开完了，明天出结果吗 +19 angus9576 2026-08-25 23/1150 2026-08-26 10:03 by zp519
[基金申请] 在坚冰还盖着北海的时候，我看到了怒放的梅花。 (金币+10) +6 ziyangfang 2026-08-25 9/450 2026-08-25 20:26 by huagongfeihu
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭