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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 综合其它 » 【求助】一.单晶硅表面如何获得较厚的SiO2层二.关于旋转涂膜
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lalahulala

木虫 (正式写手)

[交流] 【求助】一.单晶硅表面如何获得较厚的SiO2层二.关于旋转涂膜

我用浓硫酸、双氧水加热处理单晶硅片几个小时后跟原片电阻率没什么区别呀。什么方法能够得到较厚的SiO2层
另外，热氧化法我还没试，做过的xdjm指点一下，多谢了
还有就是我想在玻璃或是硅片上旋转涂膜，用溶剂将有机前躯体溶解，旋转涂膜然后再热解，得到氧化物膜，不知道用什么溶剂润湿性好，涂出来的膜均匀

[ Last edited by lalahulala on 2009-8-26 at 11:38 ]
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1楼 2009-08-24 20:00:53
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落花剑雨

木虫之王 (文学泰斗)
用乙醇吧，润湿性好不错
至于涂厚些，额，转速慢点应该就可以了吧

[ Last edited by 落花剑雨 on 2009-8-24 at 20:06 ]
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落日耀红光，繁花浮暗香。遥望剑舞影，细闻风雨狂。
2楼2009-08-24 20:04:45
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lalahulala

木虫 (正式写手)
乙醇，乙二醇，还有乙二醇一甲醚我都试了，前两者涂完后呈岛状，后者稍好一些，不知还有更好的没

[ Last edited by lalahulala on 2009-8-24 at 20:11 ]
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3楼2009-08-24 20:09:54
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落花剑雨

木虫之王 (文学泰斗)
额，没试过其它的~~
这你得自己试验摸索。呵呵~~
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落日耀红光，繁花浮暗香。遥望剑舞影，细闻风雨狂。
4楼2009-08-24 20:13:55
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xyan278

金虫 (小有名气)
★
lalahulala(金币+1,VIP+0):多谢，不知道除了热氧化还有其他方法吗，热氧化需要的温度高而且还要通气。我用乙醇或乙二醇甲醚3000转涂膜都试过，可是前躯体热解后呈岛状，不知道什么原因 8-25 08:59
氧化的话还是找专业的实验室做热氧化，效果比较好，旋转涂膜是乙醇或乙二醇甲醚配制的溶胶都可以，转速控制在3000r/min,
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在模仿中成长，在创新中成功
5楼2009-08-24 21:05:05
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solgeltech

银虫 (小有名气)
★
lalahulala(金币+1,VIP+0):多谢，我现在正在干氧1000度烧。我用溶剂将有机前躯体溶解得到溶液，旋转涂膜然后再热解，得到氧化物膜 8-26 16:02
在硅上制备SiO2的最好方法是热氧化：湿氧+干氧。温度在1100-1200度，时间大约3-5小时，具体时间取决于所需的厚度。
另外，你打算在Si片上涂什么膜，是用溶胶凝胶法吗？你说的最好详细一点儿，别人好给你具体的建议。
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镍酸镧氧化物 铁电薄膜溶液 铁酸铋 http://yuantek.admindiy.cn ｗｗｗ.ｙｕａｎｔｅｋｓｏｌｇｅｌ.ｃｏｍ
6楼2009-08-25 12:20:30
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