24小时热门版块排行榜    

查看: 1228  |  回复: 4
【有奖交流】积极回复本帖子,参与交流,就有机会分得作者 formula678 的 20 个金币
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

formula678

新虫 (小有名气)

[交流] 磁控溅射沉积碳膜,通入甲烷会有利于提高溅射效率

各位前辈们,请问如果要用磁控溅射沉积碳膜或者含碳膜,老师们建议通入甲烷,会有利于提高碳的沉积效率,但是有的文章说到,和甲烷差不多的乙炔用于沉积类石墨碳。还是不是意味着甲烷或者乙炔这类气体也会被溅射到薄膜里呢?

发自小木虫Android客户端
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

刘太阳

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
老哥,我也有类似的问题,想咨询下你,方便加下QQ吗

发自小木虫Android客户端
4楼2022-02-10 19:16:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 5 个回答

野人禾禾

金虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
等离子体会让甲烷或乙炔有一定程度的裂解,所以镀层除了磁控碳膜还有含氢碳膜
擅长薄膜材料工艺,欢迎交流captain0119
2楼2021-11-19 10:18:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lll磊子

铁虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
等离子体会使甲烷离化,因而制备出来的薄膜是含氢碳,做纯碳膜要用碳靶磁控溅射,希望有所帮助,你是哪里,做DLC的
3楼2021-12-06 18:46:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

野人禾禾

金虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
甲烷或乙炔都会有一定程度裂解,然后再基片沉积,但是薄膜是含氢键的类金刚石或类石墨薄膜;
最后还是看你需要的碳膜的性能,如果含氢没影响的话,确实可以提高沉积速率
擅长薄膜材料工艺,欢迎交流captain0119
5楼2022-05-19 15:26:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 一志愿天津大学材料与化工275求调剂 10+5 穿只靴子 2026-03-07 22/1100 2026-03-11 21:11 by kiokin
[考研] 一志愿浙江大学0856材料与化工求调剂 +3 yansheng@211 2026-03-09 4/200 2026-03-11 10:52 by @飒飒飒飒
[考研] 材料371求调剂 +7 鳄鱼? 2026-03-11 9/450 2026-03-11 10:31 by 木瓜膏
[考研] 0817学硕华东区求调剂 +3 30660438 2026-03-08 3/150 2026-03-10 16:55 by Pegasus0429
[考研] 一志愿湖师大化学289求调剂 +5 XMCMM3.14159 2026-03-10 5/250 2026-03-10 15:41 by shangxh
[考研] 0817一志愿苏州大学280复试调剂 +9 kk扛 2026-03-07 9/450 2026-03-10 14:20 by peike
[考研] 一志愿:武汉理工,材料工程,英二数二 总分314 +3 2202020125 2026-03-10 4/200 2026-03-10 13:54 by xiongyaxuan
[考研] 研究生招生 +3 徐海涛11 2026-03-10 6/300 2026-03-10 12:43 by 徐海涛11
[考博] 2026博士申请 +6 起泡酒 2026-03-08 6/300 2026-03-10 10:26 by 何由彻
[考研] 295复试调剂 +4 简木ChuFront 2026-03-09 4/200 2026-03-09 21:49 by wangjihu
[考研] 求调剂,数一英一274分 +4 小菲会努力 2026-03-08 4/200 2026-03-09 12:40 by 一定上岸哟_
[考研] 求0856调剂 +5 小力气珂珂 2026-03-08 5/250 2026-03-09 06:42 by houyaoxu
[考研] 269求调剂 +3 朔朔话 2026-03-08 4/200 2026-03-08 20:39 by 热情沙漠
[教师之家] 交大前校长王树国:现在最先进的科技并不在大学实验室,而是在企业研究院 +4 zju2000 2026-03-08 6/300 2026-03-08 19:15 by zju2000
[考研] 288求调剂085600材料与化工 +13 Daunrin 2026-03-07 15/750 2026-03-08 19:10 by 加号+
[考研] 288求调剂(0703)一志愿东北大学 +5 好好- 2026-03-07 5/250 2026-03-08 18:22 by zzpnuli111
[考研] 085701环境工程317分求调剂 +9 6汆尼9 2026-03-07 9/450 2026-03-08 06:41 by 刘兵
[考研] 材料科学(0805)338 求调剂 +7 xiaokang3286 2026-03-07 7/350 2026-03-08 03:42 by lfhuang
[考研] 276求调剂 本科天津工业大学 一志愿北京化工大学0855 +4 路lyh123 2026-03-06 6/300 2026-03-07 11:37 by shdliugang
[考研] 085602 293分求调剂 +3 SivanNano. 2026-03-05 3/150 2026-03-05 19:41 by caszguilin
信息提示
请填处理意见