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formula678新虫 (小有名气)
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[交流]
磁控溅射沉积碳膜，通入甲烷会有利于提高溅射效率
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各位前辈们，请问如果要用磁控溅射沉积碳膜或者含碳膜，老师们建议通入甲烷，会有利于提高碳的沉积效率，但是有的文章说到，和甲烷差不多的乙炔用于沉积类石墨碳。还是不是意味着甲烷或者乙炔这类气体也会被溅射到薄膜里呢？ 发自小木虫Android客户端 |
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2楼2021-11-19 10:18:25
lll磊子
铁虫 (小有名气)
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- 专业: 机械摩擦学与表面技术
3楼2021-12-06 18:46:51
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