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formula678

新虫 (小有名气)

[交流] 磁控溅射沉积碳膜，通入甲烷会有利于提高溅射效率

各位前辈们，请问如果要用磁控溅射沉积碳膜或者含碳膜，老师们建议通入甲烷，会有利于提高碳的沉积效率，但是有的文章说到，和甲烷差不多的乙炔用于沉积类石墨碳。还是不是意味着甲烷或者乙炔这类气体也会被溅射到薄膜里呢？

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1楼 2021-11-10 20:53:31
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野人禾禾

金虫 (正式写手)
★
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等离子体会让甲烷或乙炔有一定程度的裂解，所以镀层除了磁控碳膜还有含氢碳膜
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擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
2楼2021-11-19 10:18:25
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lll磊子

铁虫 (小有名气)
★
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等离子体会使甲烷离化，因而制备出来的薄膜是含氢碳，做纯碳膜要用碳靶磁控溅射，希望有所帮助，你是哪里，做DLC的
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3楼2021-12-06 18:46:51
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刘太阳

新虫 (初入文坛)
★
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老哥，我也有类似的问题，想咨询下你，方便加下QQ吗

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4楼2022-02-10 19:16:27
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野人禾禾

金虫 (正式写手)
★
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甲烷或乙炔都会有一定程度裂解，然后再基片沉积，但是薄膜是含氢键的类金刚石或类石墨薄膜；
最后还是看你需要的碳膜的性能，如果含氢没影响的话，确实可以提高沉积速率
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擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
5楼2022-05-19 15:26:06
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