应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 复合材料 » 碳复合 » 磁控溅射沉积碳膜，通入甲烷会有利于提高溅射效率
51/1返回列表
查看: 1226  |  回复: 4
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
【有奖交流】积极回复本帖子，参与交流，就有机会分得作者 formula678 的 20 个金币

formula678

新虫 (小有名气)

[交流] 磁控溅射沉积碳膜，通入甲烷会有利于提高溅射效率

各位前辈们，请问如果要用磁控溅射沉积碳膜或者含碳膜，老师们建议通入甲烷，会有利于提高碳的沉积效率，但是有的文章说到，和甲烷差不多的乙炔用于沉积类石墨碳。还是不是意味着甲烷或者乙炔这类气体也会被溅射到薄膜里呢？

发自小木虫Android客户端
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
1楼 2021-11-10 20:53:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

野人禾禾

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
等离子体会让甲烷或乙炔有一定程度的裂解，所以镀层除了磁控碳膜还有含氢碳膜
赞一下(2人) 回复此楼
擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
2楼2021-11-19 10:18:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lll磊子

铁虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
等离子体会使甲烷离化，因而制备出来的薄膜是含氢碳，做纯碳膜要用碳靶磁控溅射，希望有所帮助，你是哪里，做DLC的
赞一下 回复此楼
3楼2021-12-06 18:46:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

刘太阳

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
老哥，我也有类似的问题，想咨询下你，方便加下QQ吗

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
4楼2022-02-10 19:16:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

野人禾禾

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
甲烷或乙炔都会有一定程度裂解，然后再基片沉积，但是薄膜是含氢键的类金刚石或类石墨薄膜；
最后还是看你需要的碳膜的性能，如果含氢没影响的话，确实可以提高沉积速率
赞一下 回复此楼
擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
5楼2022-05-19 15:26:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 formula678 的主题更新
51/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] （081700）化学工程与技术-298分求调剂 +7 11啦啦啦 2026-03-11 7/350 2026-03-11 23:38 by wang_dand
[考研] 材料与化工304求B区调剂 +4 邱gl 2026-03-11 5/250 2026-03-11 23:15 by lyyia@@
[考研] 0857 资源与环境 285分 +6 未名考生 2026-03-09 6/300 2026-03-11 21:08 by 30660438
[考研] 290求调剂 +3 柯淮然 2026-03-10 8/400 2026-03-11 13:48 by 柯淮然
[考研] 312求调剂 +5 陌宸希 2026-03-10 5/250 2026-03-11 07:18 by macy2011
[考研] 材料工程专硕，一志愿中国矿业大学，总分314，求调剂 +4 无懈可击的巨人 2026-03-10 4/200 2026-03-10 22:45 by 星空星月
[考研] 086000生物与医药319分求调剂 +4 Tolkien 2026-03-07 8/400 2026-03-10 21:34 by Tolkien
[考研] 家人们 调剂不迷路 看这里 +8 likeihood 2026-03-09 13/650 2026-03-10 08:09 by likeihood
[考研] 考研调剂，一志愿山东大学材料与化工，328分，政治51 +5 关你西红柿929 2026-03-08 6/300 2026-03-09 13:50 by 新篇章DFSS
[考研] 085701环境工程专硕求调剂 +5 幼稚园大班打手 2026-03-08 5/250 2026-03-09 07:07 by houyaoxu
[考研] 0817找调剂 +6 kk扛 2026-03-08 6/300 2026-03-09 06:38 by houyaoxu
[考研] 材料化工求调剂 +7 博斯特525 2026-03-06 8/400 2026-03-08 03:51 by lfhuang
[考研] 材料科学（0805）338 求调剂 +7 xiaokang3286 2026-03-07 7/350 2026-03-08 03:42 by lfhuang
[考研] 070300化学求调剂292分 +3 打烊eee 2026-03-07 3/150 2026-03-07 20:04 by houyaoxu
[考研] 一志愿中国石油大学（华东） 本科齐鲁工业大学 求调剂 +3 snw石 2026-03-07 3/150 2026-03-07 20:01 by houyaoxu
[考研] 复试调剂 +7 呼呼？~+123456 2026-03-05 10/500 2026-03-06 16:07 by @飒飒飒飒
[考研] 268求调剂 +4 刘合华 2026-03-05 4/200 2026-03-06 11:18 by lature00
[考研] 085600，一志愿郑州大学，280分求调剂 +7 Wuqi725 2026-03-05 7/350 2026-03-06 08:12 by 杨杨杨紫
[考研] 求调剂，学校研究所都可以，材料与化工267分 +6 wmx1 2026-03-05 6/300 2026-03-05 20:01 by houyaoxu
[考研] 复试调剂 +5 呼呼？~+123456 2026-03-05 5/250 2026-03-05 19:43 by caszguilin
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭