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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 【交流】等离子体刻蚀探讨
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眼泪622

木虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
我们刚接触一点，来学习学习
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21楼2009-12-08 18:49:31
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longdan
小木虫:)(金币+0,VIP+0):欢迎新虫发言，您可以谈谈您的感想和评价，但是物理版不支持无意义的灌水 12-21 00:01
22楼2009-12-20 21:58:35
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bolong5121

木虫 (小有名气)
我上网找了关于等离子体的PPT介绍，有需要的话留下邮箱！
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法国直购护肤淘宝店http://emmaxu.taobao.com
23楼2010-05-28 16:43:55
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good256

铜虫 (正式写手)
是不是RIE呀
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24楼2010-08-14 00:40:23
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日空流星

铁虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
至少是比湿法腐蚀好
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25楼2012-10-08 22:58:39
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浅蓝色背影
26楼2012-10-10 18:16:59
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Frankleo

金虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
FIB聚焦离子束刻蚀用得比较多目前
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27楼2012-10-20 19:58:07
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
2楼: Originally posted by bbb208 at 2009-08-20 16:20:30
等离子体刻蚀（也称干法刻蚀）是集成电路制造中的关键工艺之一，其目的是完整地将掩膜图形复制到硅片表面，其范围涵盖前端CMOS栅极（Gate）大小的控制，以及后端金属铝的刻蚀及Via和Trench的刻蚀。在今天没有一个集 ...

妹子有这方面的文献和书籍么？
实现条件如何实现啊？
需要什么样的设备和模板啊？
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28楼2013-11-08 20:46:34
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忍者独行

新虫 (著名写手)
同求
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29楼2014-11-28 15:27:31
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2141375

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
太阳电池是属于高温等离子的，等离子方向分高温和低温，高温主要研究核反应，也可应用于太阳能电池发电，低温主要是用来刻蚀/沉积的，低温又分常压和低压，不同工作气体，放电参数在进行不同的等离子工艺。
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30楼2015-10-27 09:53:41
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