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ever1945

银虫 (小有名气)

[交流] 【交流】等离子体刻蚀探讨已有10人参与

有没有哪位虫友对等离子刻蚀有研究啊,能不能对这种工艺原理作个介绍呢?
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
2楼: Originally posted by bbb208 at 2009-08-20 16:20:30
等离子体刻蚀(也称干法刻蚀)是集成电路制造中的关键工艺之一,其目的是完整地将掩膜图形复制到硅片表面,其范围涵盖前端CMOS栅极(Gate)大小的控制,以及后端金属铝的刻蚀及Via和Trench的刻蚀。在今天没有一个集 ...

妹子有这方面的文献和书籍么?
实现条件如何实现啊?
需要什么样的设备和模板啊?
28楼2013-11-08 20:46:34
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