应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术交流 » 光刻胶
51/1返回列表
查看: 1091  |  回复: 4
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
【有奖交流】积极回复本帖子，参与交流，就有机会分得作者 183092217 的 5 个金币
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

183092217

新虫 (初入文坛)

[交流] 光刻胶

Su8光刻胶用环戊酮稀释后，旋涂成膜，曝光显影后，膜出现褶皱，请问大家该如何解决，并且在膜上还有下图的情况不知道为什么，希望大佬赐教

光刻胶


发自小木虫Android客户端
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2021-08-06 10:46:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

济南创科

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
为什么要稀释呢，不同的黏度做不同的厚度，su8对烘烤比较严格

发自小木虫IOS客户端
赞一下 回复此楼
4楼2021-08-12 00:00:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 5 个回答

MEMSlee

捐助贵宾 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
PI可以稀释，SU8也能稀释吗
赞一下 回复此楼
2楼2021-08-06 22:34:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

183092217

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by MEMSlee at 2021-08-06 22:34:06
PI可以稀释，SU8也能稀释吗

有文献上用环戊酮稀释了呀，

发自小木虫Android客户端
赞一下(1人) 回复此楼
3楼2021-08-08 10:12:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

SunKli

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
4楼: Originally posted by 济南创科 at 2021-08-12 00:00:52
为什么要稀释呢，不同的黏度做不同的厚度，su8对烘烤比较严格

请问有没有用Ebl刻过150nm厚度左右的SU8,想咨询一下工艺问题，曝光参数以及加热问题。摸索了一段时候还是很差

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
5楼2022-08-06 20:19:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 5 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 材料调剂 +6 ounce. 2026-03-05 14/700 2026-03-07 22:09 by 星空星月
[考研] 材料325求调剂 30+6 mariusuki 2026-03-02 12/600 2026-03-07 20:12 by xindong
[考研] 0307化学求调剂 +6 0ok0k 2026-03-07 6/300 2026-03-07 20:10 by pies112
[考研] 2026调剂】考试A区0703化学类323分 诚求接收 +3 卷柏卷柏 2026-03-05 4/200 2026-03-07 17:00 by yuandd_2001
[考研] 273求调剂 +5 星星111222 2026-03-02 7/350 2026-03-06 20:17 by 星星111222
[考研] 一志愿211，0860总分286食品工程专业求调剂 +6 林林Winnie 2026-03-05 6/300 2026-03-06 20:06 by 我想上研究生.
[考博] 26申博-目前4篇SCI一作 +4 chen_2024 2026-03-02 4/200 2026-03-05 22:59 by sicilyl0001
[考研] 一志愿东北大学080500，英一数二343分求调剂 +5 Seele_v5 2026-03-04 5/250 2026-03-05 13:26 by Iveryant
[考研] 0856材料专硕274能调剂去哪里？ +3 22735 2026-03-04 4/200 2026-03-05 09:06 by 斩魂滴兔子！
[考研] 264求调剂 +8 26调剂 2026-03-03 8/400 2026-03-04 20:50 by 一切OK
[考研] 一志愿中南大学理学化学 +6 15779376950 2026-03-01 8/400 2026-03-04 16:19 by zhukairuo
[考研] 0857求调剂 +4 CDDD1013 2026-03-04 4/200 2026-03-04 16:08 by zhukairuo
[考研] 085601 材料305分求助 +4 泡泡邮件 2026-03-03 6/300 2026-03-04 13:00 by 无际的草原
[考研] 264求调剂 +3 thext 2026-03-03 3/150 2026-03-04 09:29 by 热情沙漠
[考研] 复试调剂 +4 杰尼龟aaa 2026-03-03 4/200 2026-03-03 23:06 by zhukairuo
[考研] 306求调剂 +7 张张张张oo 2026-03-03 7/350 2026-03-03 21:35 by L135790
[考研] 计算机学硕 分数285求调剂 +4 glwshine 2026-03-02 5/250 2026-03-03 14:27 by king呀
[考研] 299求调剂 +5 kkcoco25 2026-03-02 9/450 2026-03-03 12:55 by 公瑾逍遥
[考研] 哈工大计算机刘劼团队招生 +4 hit_aiot 2026-03-01 6/300 2026-03-02 11:53 by 一声问好
[考研] 1 +5 2026计算机_诚心 2026-03-01 8/400 2026-03-02 11:05 by 汪！？！
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭