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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术交流 » 光刻胶
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183092217

新虫 (初入文坛)

[交流] 光刻胶

Su8光刻胶用环戊酮稀释后，旋涂成膜，曝光显影后，膜出现褶皱，请问大家该如何解决，并且在膜上还有下图的情况不知道为什么，希望大佬赐教

光刻胶


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1楼 2021-08-06 10:46:01
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济南创科

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
为什么要稀释呢，不同的黏度做不同的厚度，su8对烘烤比较严格

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4楼2021-08-12 00:00:52
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MEMSlee

捐助贵宾 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
PI可以稀释，SU8也能稀释吗
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2楼2021-08-06 22:34:06
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183092217

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by MEMSlee at 2021-08-06 22:34:06
PI可以稀释，SU8也能稀释吗

有文献上用环戊酮稀释了呀，

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3楼2021-08-08 10:12:55
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SunKli

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
4楼: Originally posted by 济南创科 at 2021-08-12 00:00:52
为什么要稀释呢，不同的黏度做不同的厚度，su8对烘烤比较严格

请问有没有用Ebl刻过150nm厚度左右的SU8,想咨询一下工艺问题，曝光参数以及加热问题。摸索了一段时候还是很差

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5楼2022-08-06 20:19:05
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