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【有奖交流】积极回复本帖子,参与交流,就有机会分得作者 183092217 的 5 个金币

183092217

新虫 (初入文坛)

[交流] 光刻胶

Su8光刻胶用环戊酮稀释后,旋涂成膜,曝光显影后,膜出现褶皱,请问大家该如何解决,并且在膜上还有下图的情况不知道为什么,希望大佬赐教

光刻胶


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MEMSlee

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★
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PI可以稀释,SU8也能稀释吗
2楼2021-08-06 22:34:06
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183092217

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by MEMSlee at 2021-08-06 22:34:06
PI可以稀释,SU8也能稀释吗

有文献上用环戊酮稀释了呀,

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3楼2021-08-08 10:12:55
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济南创科

新虫 (初入文坛)

★
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为什么要稀释呢,不同的黏度做不同的厚度,su8对烘烤比较严格

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4楼2021-08-12 00:00:52
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SunKli

新虫 (小有名气)

★
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引用回帖:
4楼: Originally posted by 济南创科 at 2021-08-12 00:00:52
为什么要稀释呢,不同的黏度做不同的厚度,su8对烘烤比较严格

请问有没有用Ebl刻过150nm厚度左右的SU8,想咨询一下工艺问题,曝光参数以及加热问题。摸索了一段时候还是很差

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5楼2022-08-06 20:19:05
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