应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术交流 » 光刻胶
51/1返回列表
查看: 1082  |  回复: 4
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
【有奖交流】积极回复本帖子，参与交流，就有机会分得作者 183092217 的 5 个金币

183092217

新虫 (初入文坛)

[交流] 光刻胶

Su8光刻胶用环戊酮稀释后，旋涂成膜，曝光显影后，膜出现褶皱，请问大家该如何解决，并且在膜上还有下图的情况不知道为什么，希望大佬赐教

光刻胶


发自小木虫Android客户端
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2021-08-06 10:46:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

MEMSlee

捐助贵宾 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
PI可以稀释，SU8也能稀释吗
赞一下 回复此楼
2楼2021-08-06 22:34:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

183092217

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by MEMSlee at 2021-08-06 22:34:06
PI可以稀释，SU8也能稀释吗

有文献上用环戊酮稀释了呀，

发自小木虫Android客户端
赞一下(1人) 回复此楼
3楼2021-08-08 10:12:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

济南创科

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
为什么要稀释呢，不同的黏度做不同的厚度，su8对烘烤比较严格

发自小木虫IOS客户端
赞一下 回复此楼
4楼2021-08-12 00:00:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

SunKli

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
4楼: Originally posted by 济南创科 at 2021-08-12 00:00:52
为什么要稀释呢，不同的黏度做不同的厚度，su8对烘烤比较严格

请问有没有用Ebl刻过150nm厚度左右的SU8,想咨询一下工艺问题，曝光参数以及加热问题。摸索了一段时候还是很差

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
5楼2022-08-06 20:19:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 183092217 的主题更新
51/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 322,求调剂 +3 菜菜爱玩 2026-03-04 3/150 2026-03-04 12:15 by xiongyaxuan
[考研] 能动297求调剂，本科川大 +3 邵11 2026-03-04 3/150 2026-03-04 11:59 by xiongyaxuan
[考研] 281求调剂 +3 Y?l?h 2026-03-04 3/150 2026-03-04 10:51 by 汪！？！
[考研] 一志愿郑州大学，学硕，物理化学， 333求调剂 +4 李魔女斗篷 2026-03-04 4/200 2026-03-04 10:30 by YL_hao_123
[考博] 26申博 +5 north， 2026-02-28 5/250 2026-03-04 10:01 by StarAura
[考博] 26申博-目前4篇SCI一作 +3 chen_2024 2026-03-02 3/150 2026-03-04 09:49 by StarAura
[考研] 080500材料科学与工程 +5 202114020319 2026-03-03 5/250 2026-03-04 09:33 by gaoxiaoniuma
[考研] 0703化学 学硕 理工科均可 不区分研究方向 总分279求调剂 +5 1一11 2026-03-03 5/250 2026-03-03 23:14 by zhukairuo
[考研] 中国林科院林化所（南京）2026年招收化学/材料/环境工程等背景硕士研究生3名 +3 realstar2006 2026-02-27 3/150 2026-03-03 21:39 by AC.
[硕博家园] 2025届双非化工硕士毕业，申博 +4 更多的是 2026-02-27 5/250 2026-03-03 17:44 by wenium
[考研] 计算机学硕 分数285求调剂 +4 glwshine 2026-03-02 5/250 2026-03-03 14:27 by king呀
[考研] 268求调剂 +6 好运连绵不绝 2026-03-02 6/300 2026-03-03 13:03 by 秋收
[考研] 291求调剂 +3 MuoLuo1312 2026-03-02 6/300 2026-03-03 12:13 by 热情沙漠
[考研] 281电子信息求调剂 +3 jhtfeybgj 2026-03-02 6/300 2026-03-03 12:12 by 热情沙漠
[考研] 307求调剂 +6 wyyyqx 2026-03-01 6/300 2026-03-03 09:24 by 2235787770
[考研] 306分材料调剂 +5 chuanzhu川烛 2026-03-01 6/300 2026-03-02 19:51 by 张晓芳0105
[考研] 一志愿山东大学材料与化工325求调剂 +5 半截的诗0927 2026-03-02 5/250 2026-03-02 18:37 by 明亮9527
[考研] 材料类求调剂 +11 wana_kiko 2026-02-28 14/700 2026-03-02 08:46 by 聪明的大松鼠
[考研] 279求调剂 +3 dua1 2026-03-01 4/200 2026-03-02 00:23 by 大脸蛋子
[考研] 307求调剂 +4 73372112 2026-02-28 6/300 2026-03-01 00:04 by ll247
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭