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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 表面处理 » 铜表面射频磁控溅射镀铝
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三水有相逢

新虫 (初入文坛)

[求助] 铜表面射频磁控溅射镀铝

请问高手，我用射频磁控溅射的方法在铜上镀铝，真空度6*10^-4,溅射的压强为1.0pa，溅射的功率100w，靶基距8cm。溅射时间40分钟以上。分别在不同的温度下(50，100，150，200，400，500摄氏度)进行实验，每次都能正常起辉。但是沉积温度在200，400，500摄氏度的时候就是镀不上，当沉积温度是50，100，150摄氏度时就能镀上。请问高手为什么会出现这种情况呢，或者有什么解决办法吗？各位有什么经验传授一下啊！万分感激!

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1楼 2021-07-16 20:45:36
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北京中晟材料


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3楼2021-07-19 19:57:28
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野人禾禾

金虫 (正式写手)
压强降到0.3~0.5pa试试
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擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
2楼2021-07-17 12:01:41
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