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新虫 (初入文坛)

[求助] 求助！！磁控溅射高真空纯氩气制备银膜，辉光怎么会发红？？？？已有1人参与

求助小木虫里面的

大神，沈科仪的磁控溅射更换了直流和射频靶靶头以后，抽真空3个小时左右能到5*10-4。然后溅射银膜，发现纯氩气溅射，辉光呈红色，之前做都是偏蓝色（40w直流），有没有大神指点一下，是存在设备漏气的原因么（里面进了氧气）？

1楼 2021-05-20 10:45:55

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木虫 (小有名气)

感谢参与，应助指数 +1

漏气，氮气辉光颜色是粉红色

2楼2021-05-21 14:11:58

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禁虫 (小有名气)

本帖内容被屏蔽

3楼2021-06-01 17:58:37

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