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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 制备成型 » 求助！！磁控溅射高真空纯氩气制备银膜，辉光怎么会发红？？？？
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wang_1111

新虫 (初入文坛)

[求助] 求助！！磁控溅射高真空纯氩气制备银膜，辉光怎么会发红？？？？ 已有1人参与

求助小木虫里面的大神，沈科仪的磁控溅射更换了直流和射频靶靶头以后，抽真空3个小时左右能到5*10-4。然后溅射银膜，发现纯氩气溅射，辉光呈红色，之前做都是偏蓝色（40w直流），有没有大神指点一下，是存在设备漏气的原因么（里面进了氧气）？
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1楼 2021-05-20 10:45:55
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yanda

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
漏气，氮气辉光颜色是粉红色
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2楼2021-05-21 14:11:58
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gmmd6424

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
3楼2021-06-01 17:58:37
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