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wang_1111新虫 (初入文坛)
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求助!!磁控溅射高真空纯氩气制备银膜,辉光怎么会发红???? 已有1人参与
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![]() 求助小木虫里面的 大神,沈科仪的磁控溅射更换了直流和射频靶靶头以后,抽真空3个小时左右能到5*10-4。然后溅射银膜,发现纯氩气溅射,辉光呈红色,之前做都是偏蓝色(40w直流),有没有大神指点一下,是存在设备漏气的原因么(里面进了氧气)? |
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2楼2021-05-21 14:11:58
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本帖内容被屏蔽 |
3楼2021-06-01 17:58:37














大神,沈科仪的磁控溅射更换了直流和射频靶靶头以后,抽真空3个小时左右能到5*10-4。然后溅射银膜,发现纯氩气溅射,辉光呈红色,之前做都是偏蓝色(40w直流),有没有大神指点一下,是存在设备漏气的原因么(里面进了氧气)?
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