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wang_1111新虫 (初入文坛)
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[求助]
求助！！磁控溅射高真空纯氩气制备银膜，辉光怎么会发红？？？？ 已有1人参与
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 求助小木虫里面的 大神，沈科仪的磁控溅射更换了直流和射频靶靶头以后，抽真空3个小时左右能到5*10-4。然后溅射银膜，发现纯氩气溅射，辉光呈红色，之前做都是偏蓝色（40w直流），有没有大神指点一下，是存在设备漏气的原因么（里面进了氧气）？ |
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