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jade_yang新虫 (初入文坛)
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求问溅射lift off工艺要点 已有3人参与
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在硅上做PT电极的图形，溅射+lift off。胶是5350，大概1-2um，Pt溅射厚度50nm，用丙酮liftoff，但是一洗就掉。 求问是什么原因？考虑做粘附层；不知道图形小有没有关系？（大小为100um*100um） 顺便想问下lift off的手法，可以晃动吗？还是一直静置。 先谢谢了！ 发自小木虫Android客户端 |
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2楼回答的确切，硅片做图案化pt已经是很成熟的工艺了，增粘层和打底胶去除（表面清洗）没啥问题的，但是前提你要保证显影没有问题 发自小木虫Android客户端 |
4楼2021-03-28 09:23:55
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