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jade_yang

新虫 (初入文坛)

[交流] 求问溅射lift off工艺要点已有3人参与

在硅上做PT电极的图形,溅射+lift off。胶是5350,大概1-2um,Pt溅射厚度50nm,用丙酮liftoff,但是一洗就掉。
求问是什么原因?考虑做粘附层;不知道图形小有没有关系?(大小为100um*100um)
顺便想问下lift off的手法,可以晃动吗?还是一直静置。
先谢谢了!

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MEMSlee

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小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
需要加粘附层Ti,还有你这个太薄了粘连一起剥离下来了。

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2楼2021-03-25 23:38:54
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