| 查看: 1678 | 回复: 6 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
jade_yang新虫 (初入文坛)
|
[交流]
求问溅射lift off工艺要点 已有3人参与
|
|
|
在硅上做PT电极的图形，溅射+lift off。胶是5350，大概1-2um，Pt溅射厚度50nm，用丙酮liftoff，但是一洗就掉。 求问是什么原因？考虑做粘附层；不知道图形小有没有关系？（大小为100um*100um） 顺便想问下lift off的手法，可以晃动吗？还是一直静置。 先谢谢了！ 发自小木虫Android客户端 |
回复此楼
jade_yang
新虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 78.4
- 散金: 10
- 帖子: 40
- 在线: 8.5小时
- 虫号: 25960258
- 注册: 2021-03-21
- 专业: 集成电路设计与测试
5楼2021-03-28 18:26:24
2楼2021-03-25 23:38:54
jade_yang
新虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 78.4
- 散金: 10
- 帖子: 40
- 在线: 8.5小时
- 虫号: 25960258
- 注册: 2021-03-21
- 专业: 集成电路设计与测试
3楼2021-03-26 09:15:24
babyoflion
金虫 (著名写手)
- 应助: 183 (高中生)
- 金币: 4736.5
- 散金: 301
- 红花: 30
- 帖子: 2499
- 在线: 671.9小时
- 虫号: 2297725
- 注册: 2013-02-25
- 性别: GG
- 专业: 光学
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
|
2楼回答的确切，硅片做图案化pt已经是很成熟的工艺了，增粘层和打底胶去除（表面清洗）没啥问题的，但是前提你要保证显影没有问题 发自小木虫Android客户端 |
4楼2021-03-28 09:23:55