| 查看: 1423 | 回复: 1 | ||
| 【悬赏金币】回答本帖问题，作者袁星星362将赠送您 10 个金币 | ||
[求助]
磁控溅射额的WO3，在AZ 300MIF显影液中溶解脱落，衬底为SiO2/Si，有什么好方法避免吗
|
||
|
各位科研大佬们，我用磁控溅射的一层50 nm的WO3，光刻使用的是负胶工艺，负胶是AZ2035，在经过显影液AZ300MIF显影后后，较小面积的部分WO3出现溶解脱落的情况，大面积区域还在，各位大佬有类似经历吗，特向各位请教如何处理？ 不胜感激！ 祝各位大佬科研顺利，发paper顺利！  |
回复此楼» 猜你喜欢
《Measurement Techniques》2025还是EI检索吗？
已经有2人回复
-
26申博_分子动力学模拟
已经有4人回复
-
机械工程论文润色/翻译怎么收费?
已经有132人回复
-
26申博自建_分子动力学模拟
已经有0人回复
-
英国贝尔法斯特女王大学 良心导师CSC招生 复合材料制造方向
已经有1人回复
-
大连理工大学 暖通方向 2026级博士招生
已经有15人回复
-
大连理工大学 暖通专业 2026级博士生名额剩余一个
已经有0人回复
-
南京航空航天大学院士团队招生能源方向博士
已经有1人回复
-
电子化工材料是指什么
已经有1人回复
-
电子化工材料是指什么
已经有4人回复
-
硅酸盐材料在可见光波段的吸收率和红外波段的发射率，随温度的降低会有什么变化
已经有0人回复
2楼2023-12-26 07:01:11