| 查看: 1408 | 回复: 1 | ||
| 【悬赏金币】回答本帖问题，作者袁星星362将赠送您 10 个金币 | ||
[求助]
磁控溅射额的WO3，在AZ 300MIF显影液中溶解脱落，衬底为SiO2/Si，有什么好方法避免吗
|
||
|
各位科研大佬们，我用磁控溅射的一层50 nm的WO3，光刻使用的是负胶工艺，负胶是AZ2035，在经过显影液AZ300MIF显影后后，较小面积的部分WO3出现溶解脱落的情况，大面积区域还在，各位大佬有类似经历吗，特向各位请教如何处理？ 不胜感激！ 祝各位大佬科研顺利，发paper顺利！  |
回复此楼» 猜你喜欢
祈福青基能中
已经有5人回复
-
忐忑中，基金中了
已经有19人回复
-
电气科学与工程论文润色/翻译怎么收费?
已经有77人回复
-
《国家自然科学基金资助项目计划书》是不是现在还不能填写？
已经有4人回复
-
自然基金计划书里这一条意味着什么？
已经有15人回复
-
自然基金的结题成果是就高不就低吗？
已经有4人回复
-
请问我这篇论文可以挂刚中的面上项目资助号吗？
已经有8人回复
-
论文投稿求助
已经有2人回复
-
大家觉得主持一项自然基金面上项目和国家重点研发项目的课题哪个认可度高？
已经有17人回复
-
请问自然基金重点项目是必须针对指南里列的项目申请吗？
已经有0人回复
2楼2023-12-26 07:01:11